扫描电子显微镜

简介

型号:

Zeiss Gemini 450

实验室地址:

RB02

电子束参数:

  • 加速电压范围:0.02 kV – 30 kV
  • 电子束电流范围:3 pA – 40 pA
  • 最高分辨率:0.7 nm at 15 kV

探头:

镜筒内二次电子探头,二次电子探头,能量选择背散射探头,背散射电子探头,低真空背散射电子探头,低真空二次电子探头,扫描透射电子探头,能谱仪,电子背散射衍射探头

主要功能:

  • 高分辨形貌观察
  • 半导体材料失效分析
  • 材料元素组成分析
  • 材料晶体结构分析

联系人:申静芳

电话:0754-88077154

邮箱:jingfang.shen@gtiit.edu.cn

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