聚焦离子束 - 扫描电子显微镜

简介

型号:

Thermo Scientific Helios 5 UC

实验室地址:

RB05

电子束参数:

  • 电子束束流范围: 0.8 pA – 100 nA

  • 加速电压范围:350 V – 30 kV

  • 极限分辨率:0.6 nm at 15 kV

离子束参数:

  • 离子束束流范围: 1 pA – 100 nA

  • 加速电压范围:500 V – 30 kV

  • 极限分辨率:4.0 nm at 30 kV 

探头:

镜筒内背散射电子探测器,镜像背散射电子探测器,穿过透镜二次电子/背散射电子探测器,样品室二次电子探测器,样品室二次电子/二次离子探测器,可伸缩背散射电子探测器,可伸缩扫描透射模式探测器,能谱仪,电子背散射衍射探测器

主要特点:

  • 单色器技术

  • 精准的样品导航

  • 多气体沉积/刻蚀系统

  • 全自动校准

技术:

  • TEM样品制备

  • 横截面制备

  • 材料三维表征
  • APT样品制备

  • 微纳加工

  • 能谱/电子背散射衍射分析

联系人:张文静

电话:0754-88077169

邮箱:wenjing.zhang@gtiit.edu.cn

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