简介
型号：
Zeiss Gemini 450
实验室地址：
RB02
电子束参数：
- 加速电压范围：0.02 kV – 30 kV
- 电子束电流范围：3 pA – 40 pA
最高分辨率：0.7 nm at 15 kV
探头：
镜筒内二次电子探头，二次电子探头，能量选择背散射探头，背散射电子探头，低真空背散射电子探头，低真空二次电子探头，扫描透射电子探头，能谱仪，电子背散射衍射探头
主要功能：
- 高分辨形貌观察
- 半导体材料失效分析
- 材料元素组成分析
- 材料晶体结构分析
联系人：申静芳
电话：0754-88077154
邮箱：jingfang.shen@gtiit.edu.cn
