简介
型号：
Thermo Scientific Helios 5 UC
实验室地址：
RB05
电子束参数：
E-beam current range: 0.8 pA – 100 nA
加速电压范围：350 V – 30 kV
极限分辨率：0.6 nm at 15 kV
离子束参数：
I-beam current range: 1 pA – 100 nA
加速电压范围：500 V – 30 kV
极限分辨率：4.0 nm at 30 kV
探头：
镜筒内背散射电子探测器，镜像背散射电子探测器，穿过透镜二次电子/背散射电子探测器，样品室二次电子探测器，样品室二次电子/二次离子探测器，可伸缩背散射电子探测器，可伸缩扫描透射模式探测器，能谱仪，电子背散射衍射探测器
主要特点：
单色器技术
精准的样品导航
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多气体沉积/刻蚀系统
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全自动校准
技术：
TEM样品制备
横截面制备
- 材料三维表征
微纳加工
能谱/电子背散射衍射分析
- APT样品制备
联系人：张文静
电话：0754-88077169
邮箱：wenjing.zhang@gtiit.edu.cn
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